[实用新型]一种LED外延结构及悬挂式芯片结构有效
申请号: | 201921568759.4 | 申请日: | 2019-09-19 |
公开(公告)号: | CN210429861U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 席庆男;许南发;王晓慧;李志 | 申请(专利权)人: | 合肥元旭创芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/20 | 分类号: | H01L33/20;H01L33/00 |
代理公司: | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人: | 杨筠 |
地址: | 230000 安徽省合肥市经济技术开发*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型属于LED芯片技术领域,提供了一种LED外延结构及悬挂式芯片结构,LED外延结构包括衬底,衬底上设有第一GaN外延层,第一GaN外延层为具有槽面和梁面的沟槽结构,且槽面和梁面相间设置,槽面上覆盖有二氧化硅层或氮化硅层,第一GaN外延层的上方对应设有第二GaN外延层,第二GaN外延层与第一GaN外延层的梁面相接,且第二GaN外延层与二氧化硅层或氮化硅层间具有一间隙,第二GaN外延层上设有量子阱层,量子阱层上设有P型GaN层。本实用新型的LED外延结构便于实现悬挂式芯片结构的制备,悬挂式芯片结构便于实现散热性好、光电性能稳定好、寿命长的微小型薄膜芯片的生产,同时能够有效减少芯片加工工艺流程,提高LED芯片的生产效率,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 led 外延 结构 悬挂 芯片 | ||
【主权项】:
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