[实用新型]一种大尺寸碳化硅晶体生长真空装置有效
| 申请号： | 201921544716.2 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN211057277U | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 张新峰;王炜 | 申请（专利权）人： | 江苏卓远半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 | 代理人： | 丁国勇 |
| 地址： | 226500 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及碳化硅单晶生长技术领域，且公开了一种大尺寸碳化硅晶体生长真空装置，包括保温桶和合页，所述保温桶的右侧底部固定安装有延伸至保温桶内部的加热管，所述保温桶的内腔左侧壁底部固定安装有温度传感器，所述保温桶的顶部固定安装有伺服电机，伺服电机的输出轴处固定安装有贯穿且延伸至保温桶内部的转轴，转轴的底部固定安装有丝杆，丝杆的外部套接有套管，套管与丝杆螺纹连接，套管的左右两侧均固定安装有转动杆，转动杆的顶部放置有贯穿且延伸至转动杆底部的放置盒。该大尺寸碳化硅晶体生长真空装置，在空气运动的同时碳化硅晶体一下进行上下移动，从而使得高温空气与碳化硅晶体更好的接触，使得碳化硅晶体可以更好的成长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 碳化硅 晶体生长 真空 装置 | ||
【主权项】：
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