[实用新型]基于反射成像的曲面镜面三维检测装置有效
| 申请号： | 201921460966.8 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN210321639U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 万新军 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞霏光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 苏州周智专利代理事务所(特殊普通合伙) 32312 | 代理人： | 周雅卿 |
| 地址： | 215400 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于反射成像的曲面镜面三维检测装置，包括工作架，所述工作架的内部安装有样品台、图像发生装置、至少两组图像采集装置和升降装置；所述图像发生装置和两组所述图像采集装置均位于所述样品台的上方；所述升降装置驱动所述样品台靠近和/或远离所述图像采集装置；所述图像采集装置与接收端信号连接。本实用新型具有至少两组图案采集装置，同时具有样品升降装置，可以根据被测曲面镜面样品的尺寸和表面陡度范围来调节测量视场大小，适应性强，采集的三维轮廓数据与标准设计数据进行对比处理得到三维轮廓误差，提高检测镜面轮廓的精度与效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 反射 成像 曲面 三维 检测 装置 | ||
【主权项】：
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