[实用新型]粉末棒沉积设备

摘要

本实用新型提供一种粉末棒沉积设备，包括喷灯、沉积室、靶棒及吊杆，所述靶棒的一端连接于所述吊杆端部，所述靶棒伸入所述沉积室，所述喷灯喷射反应气流沉积粉末附着于靶棒上，所述沉积室连通于上部沉积腔体，所述上部沉积腔体包括同轴设置的上部沉积腔体内层和上部沉积腔体外层及盖设在远离沉积室的端部的上部沉积腔体端盖，其中上部沉积腔体内层用以容纳粉末棒上提空间，上部沉积腔体外层用于外部气体的灌入。本实用新型设计将上部腔体分为内外两层，有效将粉末棒容纳空间和气体进入腔体分离，避免随着粉末棒增加，容纳空间变小，造成沉积腔体中的气流紊乱，粉末棒的棒径产生波动。