[实用新型]粉末棒沉积设备

权利要求书

1.一种粉末棒沉积设备，包括喷灯、沉积室、靶棒及吊杆，所述靶棒的一端连接于所述吊杆端部，所述靶棒伸入所述沉积室，所述喷灯喷射反应气流沉积粉末附着于靶棒上，其特征在于：所述沉积室连通于上部沉积腔体，所述上部沉积腔体包括同轴设置的上部沉积腔体内层和上部沉积腔体外层及盖设在远离沉积室的端部的上部沉积腔体端盖，其中上部沉积腔体内层用以容纳粉末棒上提空间，上部沉积腔体外层用于外部气体的灌入。

2.根据权利要求1所述的粉末棒沉积设备，其特征在于：上部沉积腔体端盖对应于上部沉积腔体外层的部分设有不少于10个气孔，用以控制进气气流大小。

3.根据权利要求1所述的粉末棒沉积设备，其特征在于：所述气孔的总面积占上部沉积腔体端盖对应于上部沉积腔体外层的部分的面积的30％-60％。

4.根据权利要求1所述的粉末棒沉积设备，其特征在于：所述靶棒包括空心靶棒和实心靶棒，所述空心靶棒的第一端部连接于所述吊杆上；所述实心靶棒的第一端部穿插固定在所述空心靶棒的第二端部的内孔中，所述实心靶棒的第二端部为自由端，所述靶棒在所述吊杆的带动下转动或移动；所述空心靶棒第一端部和所述实心靶棒的第二端部之间的表面用于沉积形成附接于所述空心靶棒和所述实心靶棒上的粉末棒，沉积完成后，所述实心靶棒的第二端部用作夹持部，在外力作用下使得所述实心靶棒抽出以形成附接所述空心靶棒的空心粉末棒。

5.根据权利要求4所述的粉末棒沉积设备，其特征在于：所述空心靶棒的内径与所述实心靶棒的棒径相等。

6.根据权利要求4所述的粉末棒沉积设备，其特征在于：所述空心靶棒与所述实心靶棒的外径相等。

7.根据权利要求6所述的粉末棒沉积设备，其特征在于：所述空心靶棒第一端部的内径大于所述空心靶棒的内径，且所述实心靶棒的第二端部的外径大于所述实心靶棒的棒径。

8.根据权利要求7所述的粉末棒沉积设备，其特征在于：所述空心靶棒与所述实心靶棒的外径相等，所述空心靶棒第一端部的厚度为所述空心靶棒的厚度的一半。

9.根据权利要求4所述的粉末棒沉积设备，其特征在于：所述空心靶棒的第一端部为碱金属及其载气的进口，所述空心粉末棒的自由端的内孔为碱金属及其载气的出口。

10.根据权利要求4所述的粉末棒沉积设备，其特征在于：所述空心靶棒的长度小于所述实心靶棒的长度。