[实用新型]一种具有截止环结构的功率半导体器件有效
申请号: | 201921417313.1 | 申请日: | 2019-08-29 |
公开(公告)号: | CN210156381U | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 朱袁正;周锦程 | 申请(专利权)人: | 无锡新洁能股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良;陈丽丽 |
地址: | 214131 江苏省无锡市滨湖区高浪东路999号*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体技术领域,具体公开了一种具有截止环结构的功率半导体器件,包括半导体基板,元胞区位于半导体基板的中心区,终端保护区位于元胞区的外圈且环绕元胞区设置;位于终端保护区的第二导电类型体区内环绕第二类沟槽的外围设置有截止环结构;截止环结构包括第三类沟槽和截止环金属,第三类沟槽的侧壁上设置有导电多晶硅,第三类沟槽的底壁及内部均填充绝缘介质层,截止环金属位于第三类沟槽的上方,且截止环金属能够分别与第三类沟槽的侧壁上的导电多晶硅以及第一导电类型外延层接触。本实用新型提供的具有截止环结构的功率半导体器能够阻止器件漏电。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 截止 结构 功率 半导体器件 | ||
【主权项】:
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