[实用新型]一种基板搬运机器人设备

摘要

本实用新型公开了一种基板搬运机器人设备，包括固定座和驱动电机，所述固定座的上表面中间位置设有凹槽，所述凹槽的内部表面螺钉连接有机座，所述驱动电机通过机座固定连接在凹槽的内部，所述固定座的上表面且位于凹槽的周侧固定连接有内齿环，所述驱动电机的输出端固定连接有主轴，所述主轴伸出凹槽外部的侧壁对称键连接有支撑板的一端，所述支撑板均设置在内齿环的内部，所述支撑板的上表面远离主轴的一侧均设有贯通孔，本实用新型通过主动轮和从动轮的配合设置，扩大了搬运旋转的角度，同时通过两个搬运机构可提高其工作效率，通过转动油缸、伸缩油缸和定位油缸的配合设置，可提高搬运机构的灵活性，并且增大了搬运的工作半径。