[实用新型]一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置有效
| 申请号： | 201921378369.0 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN210523235U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 宋五洲 | 申请（专利权）人： | 卓创五洲（武汉）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02;B08B3/14;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 陈健阳 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置，通过滑槽和滑块的配合，使得清洗笼能够上下滑动，通过弹簧与滑块的连接，使得弹簧对滑块施加拉力，从而使清洗笼能够悬置在清洗槽上方，通过拉绳、驱动电机、传动杆、转轮和凹槽的配合，使得拉绳拉动滑块，控制清洗笼的位置，通过将清洗笼浸入清洗槽中对芯片进行清洗，通过抽液泵和进水管的配合将储液箱中的清洗液抽入喷头中，通过喷头对清洗笼内的芯片进行冲洗，同时向清洗槽内加注清洗液，通过出水管和过滤装置的配合，将使用过后的清洗液进行回收和过滤，从而使得清洗液能够循环使用，从而降低清洗液的用量，降低成本，提高清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 循环 清理 功能 芯片 加工 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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