[实用新型]一种光刻胶高端精细过滤装置有效
| 申请号： | 201921368624.3 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN210495510U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 宋里千;陈武档;周国波;赖艺珠;梁荣增 | 申请（专利权）人： | 福建泓光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D36/02 | 分类号： | B01D36/02 |
| 代理公司： | 北京立成智业专利代理事务所(普通合伙) 11310 | 代理人： | 张江涵 |
| 地址： | 363000 福建省漳*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种光刻胶高端精细过滤装置，包括外壳和密封盖，所述外壳顶端布置有密封盖，所述密封盖内部固定连接有一号隔板，所述一号隔板一侧布置有进料腔，所述一号隔板另一侧布置有出料腔，所述外壳内部布置有过滤网框，所述过滤网框内腔固定连接有二号隔板，所述二号隔板一侧布置有一号导流室，所述二号隔板另一侧布置有二号导流室，所述一号导流室一侧壁布置有滤孔，所述过滤网框外部一侧壁布置有排胶槽孔，所述过滤网框内部布置有精密过滤芯。设计新颖，结构简单，可以对光刻胶进行良好的精过滤，同时能够对光刻胶进行两次过滤，大大的提升装置对光刻胶过滤的纯净度，且不易使光刻胶沾粘在过滤装置内部，较为实用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 高端 精细 过滤 装置 | ||
【主权项】：
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