[实用新型]一种光刻胶高端精细过滤装置

权利要求书

1.一种光刻胶高端精细过滤装置，包括外壳(1)和密封盖(2)，所述外壳(1)顶端布置有密封盖(2)，其特征在于：所述密封盖(2)内部固定连接有一号隔板(3)，所述一号隔板(3)一侧布置有进料腔(4)，所述一号隔板(3)另一侧布置有出料腔(5)，所述外壳(1)内部布置有过滤网框(6)，所述过滤网框(6)内腔固定连接有二号隔板(7)，所述二号隔板(7)一侧布置有一号导流室(8)，所述二号隔板(7)另一侧布置有二号导流室(9)，所述一号导流室(8)一侧壁布置有滤孔(11)，所述过滤网框(6)外部一侧壁布置有排胶槽孔(12)，所述过滤网框(6)内部布置有精密过滤芯(10)，所述精密过滤芯(10)内部布置有三号隔板(13)，所述过滤网框(6)底端螺纹连接有固定台(14)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶高端精细过滤装置，其特征在于：所述二号导流室(9)一侧壁布置有排胶槽孔(12)，所述过滤网框(6)外部另一侧壁布置有滤孔(11)。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶高端精细过滤装置，其特征在于：所述密封盖(2)顶端固定连接有进料管(15)，且进料管(15)与进料腔(4)导通连接，所述进料管(15)一侧布置有出料管(16)，且出料管(16)与出料腔(5)导通连接。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶高端精细过滤装置，其特征在于：所述过滤网框(6)顶部位于外壳(1)和密封盖(2)之间，所述过滤网框(6)顶部上下两侧壁均布置有密封圈(18)，所述密封盖(2)底端固定连接有限位柱(17)，且限位柱(17)贯穿外壳(1)顶部，所述外壳(1)顶端外围螺纹连接有固定套(19)，所述外壳(1)通过固定套(19)与密封盖(2)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶高端精细过滤装置，其特征在于：所述进料腔(4)与一号导流室(8)导通连接，所述出料腔(5)与二号导流室(9)导通连接，所述一号隔板(3)与二号隔板(7)紧密连接，所述精密过滤芯(10)为聚四氟乙烯制作的滤芯。