[实用新型]一种光刻胶高端精细过滤装置

说明书

本实用新型提供一种光刻胶高端精细过滤装置，包括外壳和密封盖，所述外壳顶端布置有密封盖，所述密封盖内部固定连接有一号隔板，所述一号隔板一侧布置有进料腔，所述一号隔板另一侧布置有出料腔，所述外壳内部布置有过滤网框，所述过滤网框内腔固定连接有二号隔板，所述二号隔板一侧布置有一号导流室，所述二号隔板另一侧布置有二号导流室，所述一号导流室一侧壁布置有滤孔，所述过滤网框外部一侧壁布置有排胶槽孔，所述过滤网框内部布置有精密过滤芯。设计新颖，结构简单，可以对光刻胶进行良好的精过滤，同时能够对光刻胶进行两次过滤，大大的提升装置对光刻胶过滤的纯净度，且不易使光刻胶沾粘在过滤装置内部，较为实用。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶过滤技术领域，具体为一种光刻胶高端精细过滤装置。

背景技术

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。

在光刻胶生产技术中过滤是不可缺少的工艺，而现有的光刻胶过滤装置不能对光刻胶进行良好的过滤，从而对光刻胶的应用造成了严重的影响，同时较为容易使光刻胶沾粘在过滤装置内部，使过滤装置容易受到堵塞，已经满足不了人们的需求，为此，我们提出一种光刻胶高端精细过滤装置。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种光刻胶高端精细过滤装置，设计新颖，结构简单，可以对光刻胶进行良好的精过滤，同时能够对光刻胶进行两次过滤，大大的提升装置对光刻胶过滤的纯净度，且不易使光刻胶沾粘在过滤装置内部，较为实用，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：

一种光刻胶高端精细过滤装置，包括外壳和密封盖，所述外壳顶端布置有密封盖，所述密封盖内部固定连接有一号隔板，所述一号隔板一侧布置有进料腔，所述一号隔板另一侧布置有出料腔，所述外壳内部布置有过滤网框，所述过滤网框内腔固定连接有二号隔板，所述二号隔板一侧布置有一号导流室，所述二号隔板另一侧布置有二号导流室，所述一号导流室一侧壁布置有滤孔，所述过滤网框外部一侧壁布置有排胶槽孔，所述过滤网框内部布置有精密过滤芯，所述精密过滤芯内部布置有三号隔板，所述过滤网框底端螺纹连接有固定台。

进一步地，所述二号导流室一侧壁布置有排胶槽孔，所述过滤网框外部另一侧壁布置有滤孔。

进一步地，所述密封盖顶端固定连接有进料管，且进料管与进料腔导通连接，所述进料管一侧布置有出料管，且出料管与出料腔导通连接。

进一步地，所述过滤网框顶部位于外壳和密封盖之间，所述过滤网框顶部上下两侧壁均布置有密封圈，所述密封盖底端固定连接有限位柱，且限位柱贯穿外壳顶部，所述外壳顶端外围螺纹连接有固定套，所述外壳通过固定套与密封盖固定连接。

进一步地，所述进料腔于一号导流室导通连接，所述出料腔与二号导流室导通连接，所述一号隔板与二号隔板紧密连接，所述精密过滤芯为聚四氟乙烯制作的滤芯。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.通过滤孔能够对光刻胶内部的大型颗粒进行良好的过滤，使大型颗粒不易对过滤网框内部结构造成影响，较为实用，在光刻胶流入过滤网框内部时，通过精密过滤芯可以对光刻胶内部的细小颗粒进行良好的过滤，从而能够有效的提升光刻胶的纯净度。

2.通过聚四氟乙烯制作精密过滤芯为具有较强的不粘性，从而使光刻胶不易沾粘在精密过滤芯内部，以避免对精密过滤芯造成堵塞，且耐高温、耐腐蚀不易发生损坏，较为实用。

3.随着光刻胶的流动，光刻胶会从过滤网框另一侧布置的滤孔再次进入过滤网框内部，使精密过滤芯可以对光刻胶再次进行过滤，从而能够进一步提升装置对光刻胶的过滤效果，以增加光刻胶的纯净程度，较为实用。

附图说明