[实用新型]一种透射波前检测设备有效
| 申请号： | 201921263808.3 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN210005216U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 程雪岷;刘灵成;郝群;林宇仁 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 44223 深圳新创友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种透射波前检测设备，包括在光路上依次设置的激光器、准直透镜、聚焦透镜、待测镜片托盘、扩束镜和波前传感器，以及与所述聚焦透镜相耦合用于驱动所述聚焦透镜沿光轴方向移动的第一驱动器，与所述待测镜片托盘相耦合用于驱动所述待测镜片托盘沿垂直光轴的XY方向平移的第二驱动器，与所述扩束镜相耦合用于驱动所述扩束镜沿光轴方向移动的第三驱动器。本检测设备能够用于提高微透镜测量的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动器 镜片托盘 聚焦透镜 扩束镜 相耦合 光轴方向移动 检测设备 驱动 波前传感器 平移 垂直光轴 依次设置 准直透镜 激光器 透射波 微透镜 测量 | ||
【主权项】：
1.一种透射波前检测设备，其特征在于,包括在光路上依次设置的激光器、准直透镜、聚焦透镜、待测镜片托盘、扩束镜和波前传感器，以及与所述聚焦透镜相耦合用于驱动所述聚焦透镜沿光轴方向移动的第一驱动器，与所述待测镜片托盘相耦合用于驱动所述待测镜片托盘沿垂直光轴的XY方向平移的第二驱动器，与所述扩束镜相耦合用于驱动所述扩束镜沿光轴方向移动的第三驱动器。/n
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