[实用新型]分体式气体分散片及离子源系统有效
| 申请号： | 201921223573.5 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN210341042U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 赵向仁;黄坤;袁怀刚 | 申请（专利权）人： | 威海世高光电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王茹 |
| 地址： | 264200 山东省威海市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种分体式气体分散片及离子源系统，所述气体分散片包括分体式设计的基体及导磁片，所述基体及导磁片的平面均呈圆形，所述基体上设有圆形的容置槽，所述导磁片固定安装于基体上的容置槽内。本实用新型将气体分散片中的基片和导磁片进行分体式设置，导磁片的锥面结构能够减少导磁片消耗，交换时只需更换中间导磁片部分，节约成本，保证了膜层品质。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 气体 分散 离子源 系统 | ||
【主权项】：
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