[实用新型]分体式气体分散片及离子源系统有效
| 申请号： | 201921223573.5 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN210341042U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 赵向仁;黄坤;袁怀刚 | 申请（专利权）人： | 威海世高光电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王茹 |
| 地址： | 264200 山东省威海市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 体式 气体 分散 离子源 系统 | ||
1.一种分体式气体分散片，其特征在于，所述气体分散片包括分体式设计的基体及导磁片，所述基体及导磁片的平面均呈圆形，所述基体上设有圆形的容置槽，所述导磁片固定安装于基体上的容置槽内。
2.根据权利要求1所述的分体式气体分散片，其特征在于，所述导磁片包括导磁片主体部及位于所述导磁片主体部上的导磁片锥形部。
3.根据权利要求2所述的分体式气体分散片，其特征在于，所述导磁片主体部的外径等于容置槽的内径，所述导磁片主体部的厚度大于容置槽的深度。
4.根据权利要求2所述的分体式气体分散片，其特征在于，所述导磁片锥形部的锥面与底面的夹角为5°～25°。
5.根据权利要求2所述的分体式气体分散片，其特征在于，所述导磁片锥形部的锥面与底面的夹角为15°～18°。
6.根据权利要求1所述的分体式气体分散片，其特征在于，所述容置槽的底部设有贯穿基体的通孔，所述通孔的内径小于容置槽的内径。
7.根据权利要求1所述的分体式气体分散片，其特征在于，所述基体上沿容置槽的外侧设有若干贯穿基体的出气孔。
8.根据权利要求1所述的分体式气体分散片，其特征在于，所述基体外边缘上设有若干贯穿基体的固定孔。
9.一种离子源系统，其特征在于，所述离子源系统包括位于真空腔体中的电场产生单元和磁场产生单元、以及用于分散工作气体的气体分散片，所述气体分散片为权利要求1～8中任一项所述的分体式气体分散片。
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