[实用新型]一种光栅尺检测装置有效
| 申请号： | 201921212987.8 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN210036600U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 王曰明;李明富;梁邦远;王世雷;孙佳卓 | 申请（专利权）人： | 青岛前哨精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 11390 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张晓 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光栅尺检测装置，包括水平导轨以及气浮滑块；水平导轨的左侧壁面上设置有第一标尺光栅，气浮滑块上设置有第一光栅读数头；水平导轨的右侧壁面上设置有第二标尺光栅，气浮滑块上设置有第二光栅读数头；水平导轨的前端设置有升降平台，升降平台上设置有激光干涉仪，激光干涉仪的反光镜设置在气浮滑块上；水平导轨的上部右侧设置有若干沿前后方向分布的用于夹紧待检测光栅尺的标尺光栅的夹紧机构。本申请光栅尺检测装置中通过采用第二标尺光栅与第二光栅读数头组成的第二光栅位移传感器以及激光干涉仪作为检测待检测光栅尺的测量标准，进而能够检测待测光栅尺的精度和误差。 | ||
| 搜索关键词： | 水平导轨 光栅尺 标尺光栅 气浮滑块 光栅读数头 激光干涉仪 检测 检测装置 升降平台 光栅位移传感器 反光镜 本实用新型 测量标准 激光干涉 夹紧机构 前端设置 前后方向 右侧壁 左侧壁 夹紧 申请 | ||
【主权项】：
1.一种光栅尺检测装置，其特征是，包括水平导轨以及设置在水平导轨上且能沿水平导轨前后移动的气浮滑块；/n所述水平导轨的左侧壁面上设置有沿前后方向延伸的第一标尺光栅，所述气浮滑块上设置有与第一标尺光栅配合的第一光栅读数头；/n所述水平导轨的右侧壁面上设置有沿前后方向延伸的第二标尺光栅，所述气浮滑块上设置有与第二标尺光栅配合的第二光栅读数头；/n所述水平导轨的前端设置有升降平台，所述升降平台上设置有激光干涉仪，所述激光干涉仪的反光镜设置在气浮滑块上；/n所述水平导轨的上部右侧设置有若干沿前后方向分布的用于夹紧待检测光栅尺的标尺光栅的夹紧机构。/n
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