[实用新型]一种光栅尺检测装置

说明书

本实用新型公开了一种光栅尺检测装置，包括水平导轨以及气浮滑块；水平导轨的左侧壁面上设置有第一标尺光栅，气浮滑块上设置有第一光栅读数头；水平导轨的右侧壁面上设置有第二标尺光栅，气浮滑块上设置有第二光栅读数头；水平导轨的前端设置有升降平台，升降平台上设置有激光干涉仪，激光干涉仪的反光镜设置在气浮滑块上；水平导轨的上部右侧设置有若干沿前后方向分布的用于夹紧待检测光栅尺的标尺光栅的夹紧机构。本申请光栅尺检测装置中通过采用第二标尺光栅与第二光栅读数头组成的第二光栅位移传感器以及激光干涉仪作为检测待检测光栅尺的测量标准，进而能够检测待测光栅尺的精度和误差。

技术领域

本实用新型属于光栅尺检测技术领域，具体涉及一种光栅尺检测装置。

背景技术

光栅尺，也称为光栅尺位移传感器，是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺经常应用于数控机床的闭环伺服系统中，可用作直线位移检测。由于光栅尺大都用来进行位移的检测，为了保证位移测量的准确性，在光栅尺出厂或者使用之前需要检测其精度以及测量误差。

因此，亟需设置一种能够检测光栅尺精度和误差的装置以保证其位移测量的准确性。

实用新型内容

本实用新型的目的是为克服上述现有技术的不足，提供一种光栅尺检测装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种光栅尺检测装置，包括水平导轨以及设置在水平导轨上且能沿水平导轨前后移动的气浮滑块；

所述水平导轨的左侧壁面上设置有沿前后方向延伸的第一标尺光栅，所述气浮滑块上设置有与第一标尺光栅配合的第一光栅读数头；

所述水平导轨的右侧壁面上设置有沿前后方向延伸的第二标尺光栅，所述气浮滑块上设置有与第二标尺光栅配合的第二光栅读数头；

所述水平导轨的前端设置有升降平台，所述升降平台上设置有激光干涉仪，所述激光干涉仪的反光镜设置在气浮滑块上；

所述水平导轨的上部右侧设置有若干沿前后方向分布的用于夹紧待检测光栅尺的标尺光栅的夹紧机构。

优选的，所述气浮滑块包括与水平导轨的顶端面进行配合的主滑台，所述主滑台的左端向下垂直固定设置有与水平导轨的左端面进行配合的左侧滑台，所述主滑台的右端向下垂直固定设置有与水平导轨的右端面进行配合的右侧滑台；

所述主滑台底端面的左右两侧、左侧滑台的右端面上、右侧滑台的左端面上均设置有若干气流孔；设置有气流孔的各个滑台的端面上均设置有与所在滑台上气流孔相连通的进气孔，所述进气孔通过管道与供气设备连接；

所述主滑台底端面的左右两侧、右侧滑台的左端面上设置有吸附槽，所述吸附槽上设置有出气孔，设置有出气孔的各个滑台的端面上均设置有与所在滑台上出气孔相连通的排气孔，所述排气孔通过管道与抽真空装置连接。

优选的，所述主滑台、左侧滑台上气流孔端部的外围设置有与气流孔进行垂直连通的呈十字形结构的第一气流均布槽。

优选的，所述右侧滑台的左端面上设置有连通气流孔的第二气流均布槽。

优选的，所述气浮滑块与直线电机相连，所述气浮滑块在直线电机的驱动下沿水平导轨进行滑动和锁定。

优选的，所述夹紧机构包括L形夹紧座，所述L形夹紧座的底部直角边与水平导轨进行固定连接；所述L形夹紧座的右端面上对称设置有两个连接耳板，两个连接耳板之间转动连接有角度调节件；

所述角度调节件的中部与过渡件的一端转动连接，所述过渡件的另一端与角度调节把手的两支腿进行转动连接，所述角度调节把手的两支腿端部分别与相应的连接耳板进行转动连接；

所述角度调节件的上部设置有夹紧螺杆，所述夹紧螺杆的端部设置有夹紧块；所述角度调节件两边的夹紧螺杆上设置有夹紧螺母。