[实用新型]一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片有效

专利信息
申请号: 201921189383.6 申请日: 2019-07-26
公开(公告)号: CN210109373U 公开(公告)日: 2020-02-21
发明(设计)人: 鹿建;王艳会;赵嘉峰;谢斌平;欧宏炜 申请(专利权)人: 费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司
主分类号: G02B5/20 分类号: G02B5/20;G02B5/26;G01J1/04
代理公司: 南京瑞华腾知识产权代理事务所(普通合伙) 32368 代理人: 梁金娟
地址: 210032 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及滤光片技术领域,尤其是一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片;包括基底,所述基底上设置有若干层特殊设计的光学薄膜,所述若干层光学薄膜包括上反射膜系和下反射膜系,上反射膜系和下反射膜系之间设置有谐振腔层,上反射膜系和下反射膜系分别由交替设置的MgF2膜层和CaF2膜层构成;本实用新型中设计的多层光学薄膜,可以将带宽分辨率提高到50meV(0.5nm@123nm),能够高效快捷的对宽带的真空紫外光子进行单色化,光子透过效率高,然后将其与紫外敏感光电倍增管(其响应仅在对应的光子能量)组合的光子探测器,有效的解决光电子能谱仪能量分辨率低的应用瓶颈。
搜索关键词: 一种 用于 单色 深紫 探测器 窄带 滤波
【主权项】:
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