[实用新型]一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片

权利要求书

1.一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片，其特征在于：包括基底，所述基底上设置有若干层光学薄膜，所述若干层光学薄膜包括上反射膜系和下反射膜系，上反射膜系和下反射膜系之间设置有谐振腔层，上反射膜系和下反射膜系分别由交替设置的MgF₂膜层和CaF₂膜层构成。

2.根据权利要求1所述的一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片，其特征在于：所述窄带滤波片的中心波长为123nm-205nm(6eV-10eV)。

3.根据权利要求2所述的一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片，其特征在于：所述若干层光学薄膜中每一层光学薄膜的厚度与设计的中心波长匹配满足d＝0.25l/n_λ。

4.根据权利要求1所述的一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片，其特征在于：所述谐振腔层的厚度与设计的中心波长的关系为d＝λ/n_λ。

5.根据权利要求1所述的一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片，其特征在于：所述基底材料为深紫外单晶MgF₂。

6.根据权利要求5所述的一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片，其特征在于：所述基底材料的纯度为99.99％以上。

7.根据权利要求1所述的一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片，其特征在于：所述上反射膜系和下反射膜系分别包括25对MgF₂膜层和Ca F₂膜层。

8.根据权利要求1所述的一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片，其特征在于：所述窄带滤波片的带宽为50meV。

9.根据权利要求1所述的一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片，其特征在于：所述若干层光学薄膜通过电子蒸镀仪蒸镀制得。