[实用新型]一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片

说明书

本实用新型涉及滤光片技术领域，尤其是一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片；包括基底，所述基底上设置有若干层特殊设计的光学薄膜，所述若干层光学薄膜包括上反射膜系和下反射膜系，上反射膜系和下反射膜系之间设置有谐振腔层，上反射膜系和下反射膜系分别由交替设置的MgF₂膜层和CaF₂膜层构成；本实用新型中设计的多层光学薄膜，可以将带宽分辨率提高到50meV(0.5nm@123nm)，能够高效快捷的对宽带的真空紫外光子进行单色化，光子透过效率高，然后将其与紫外敏感光电倍增管(其响应仅在对应的光子能量)组合的光子探测器，有效的解决光电子能谱仪能量分辨率低的应用瓶颈。

技术领域

本实用新型涉及滤光片技术领域，尤其是一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片。

背景技术

窄带干涉滤光片是一种带通干涉滤波器，由具高折射率层和低折射率层交替生长的周期性光学介质膜构成，利用干涉原理只使特定光谱范围的光通过。可以从入射光中，选取特定的波长，其半峰值带宽(峰值的一半)可达到0.1nm到20nm。根据需要，窄带干涉滤光片的通频带可从红外到紫外。在可见光区，彩色电视摄像机中可利用这种滤光片把像分离成不同颜色；在红外区，常用于二氧化碳激光器、导弹制导系统及卫星传感器等。窄带干涉滤光片可代替如迈克尔逊干涉具、光栅等昂贵的分光器件，广泛应用在光学实验和工业领域。

但是单层薄膜的厚度与通过波长的长度成正比，波长越短，薄膜越薄，对镀膜设备和工艺的要求越高，生长越困难。现有产品的不足之处在于：1、带宽>1500meV；2、形状、尺寸固定；3、中心峰位不可选。

发明内容

本实用新型的目的是：克服现有技术中的不足，提供一种带宽窄、效率高的用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片，该窄带滤波片能大幅度提高接收角，弥补光栅的不足，结构简单、体积小巧、无需转动部件，能够与主流的MCP探测器有效耦合。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种用于单色化深紫外探测器的窄带滤波片，包括基底，所述基底上设置有若干层光学薄膜，所述若干层光学薄膜包括上反射膜系和下反射膜系，上反射膜系和下反射膜系之间设置有谐振腔层，上反射膜系和下反射膜系分别由交替设置的MgF₂膜层和CaF₂膜层构成。

进一步的，所述若干层光学薄膜中每一层光学薄膜的厚度与设计的中心波长匹配满足d＝0.25λ/n_λ。

进一步的，所述谐振腔层的厚度与设计的中心波长的关系为d＝λ/n_λ。

进一步的，所述基底材料为深紫外单晶MgF₂。

进一步的，所述基底材料的纯度为99.99％以上。

进一步的，所述上反射膜系和下反射膜系分别包括25对MgF₂膜层和Ca F₂膜层。

进一步的，所述窄带滤波片的带宽为50meV。

进一步的，所述若干层光学薄膜通过电子蒸镀仪蒸镀制得。

采用本实用新型的技术方案的有益效果是：

本实用新型中设计的多层光学薄膜，可以将带宽分辨率提高到50meV(0.5nm@123nm)，能够高效快捷的对宽带的真空紫外光子进行单色化，光子透过效率高，然后将其与紫外敏感光电倍增管(其响应仅在对应的光子能量)组合的光子探测器，有效的解决光电子能谱仪能量分辨率低的应用瓶颈。