[实用新型]一种热丝CVD金刚石涂层设备

摘要

本实用新型公开了一种热丝CVD金刚石涂层设备，包括镀膜箱体，所述镀膜箱体的上部设置有至少一个进气入口，所述镀膜箱体的左侧壁上部设置有抽真空装置，所述抽真空装置通过抽气管与所述镀膜箱体的内部连接，所述镀膜箱体的中部设置有上接线环和下接线环，所述上接线环和下接线环之间均匀连接有热丝，通过抽真空装置的抽气管将镀膜箱体内部的气体抽空，调节流量控制阀通过进气入口通入反应气体，并打开电源开始碳化热丝，热丝碳化完成后即可对工作平台上的工件进行涂层；在完成工件表面的金刚石沉积生长后，即可开始降温过程，可以采用水冷和风冷两种途径进行降温，实用性强，且可以提高降温效率，有利于提高工件的涂层效果。