[实用新型]真空干燥装置有效
| 申请号： | 201921178613.9 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN210425779U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 王思元;王允军 | 申请（专利权）人： | 苏州星烁纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B9/06;F26B25/12;F26B21/00;F26B25/00;F26B23/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种真空干燥装置，包括真空腔室及承载部，真空腔室的室门设置在真空腔室的侧部，真空腔室的室门上开设有基板输送窗口，承载部位于真空腔室内部，承载部包括多个承载台，用于承载待干燥的基板。真空干燥装置在真空腔室的室门上设置了基板输送窗口，通过较小面积的基板输送窗口传输基板，有效减少了外部空气向腔室内部引入，避免了量子点材料的发光性能被进入的水氧破坏，有利于后续的抽真空过程顺利进行，保证多次实验结果的重复性及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 干燥 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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