[实用新型]一种蒸发源挡板有效
| 申请号： | 201921168227.1 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN210596240U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 黄逸臻;孙玉俊 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56;C23C14/12 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 魏小霞;徐剑兵 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及高真空设备技术领域，特别涉及一种蒸发源挡板。所述一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、磁场检测器、磁感应开关和金属片；挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；第一挡板部与载台相向设置，第三挡板部与载台相向设置；金属片分别设置于第一挡板部与载台相对应的下端、及第三挡板部与载台相对应的下端；磁感应开关设置于载台上；金属片与磁感应开关相向设置；磁场检测器分别设置于金属片两侧，磁场检测器与磁感应开关相向设置。通过该装置，磁场检测器可通过检测每次传送的磁场是否相同，若不同，则说明挡板发生形变而偏移，则会发出警报，告知工作人员发生异常。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 挡板 | ||
【主权项】：
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