[实用新型]一种用于蓝膜晶元封装的转动换位装置有效
| 申请号： | 201921155835.9 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN209993571U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 向军;冯霞霞;封浩 | 申请（专利权）人： | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 32333 南京中高专利代理有限公司 | 代理人： | 祝进 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于蓝膜晶元封装的转动换位装置，包括支座、底板和工作台，所述工作台上放置待换位的石墨盘，所述转动换位装置还包括活动臂和设置在所述工作台上方的转动支架，所述转动支架上设置有能够吸附并提起所述石墨盘的吸嘴，所述活动臂的一端通过水平调节机构和竖直调节机构活动安装在所述支座上，所述活动臂的另一端固定设置有转动气缸，所述转动气缸的转动轴固定连接所述转动支架并能驱动所述转动支架沿水平方向转动，通过吸嘴吸附并提起石墨盘，同时在转动气缸的驱动下实现石墨盘的转动换位，进而节约了人力成本，实现了生产的自动化，提高了经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 转动支架 石墨盘 转动气缸 活动臂 转动 换位装置 工作台 吸附 吸嘴 换位 底板 水平调节机构 水平方向转动 本实用新型 驱动 活动安装 人力成本 转动轴 晶元 蓝膜 竖直 封装 自动化 节约 生产 | ||
【主权项】：
1.一种用于蓝膜晶元封装的转动换位装置，包括支座（1）、底板（2）和工作台（3），所述工作台（3）上放置待换位的石墨盘，其特征在于：所述转动换位装置还包括活动臂（4）和设置在所述工作台（3）上方的转动支架（5），所述转动支架（5）上设置有能够吸附并提起所述石墨盘的吸嘴（6），所述活动臂（4）的一端通过水平调节机构和竖直调节机构活动安装在所述支座（1）上，所述活动臂（4）的另一端固定设置有转动气缸（7），所述转动气缸（7）的转动轴固定连接所述转动支架（5）并能驱动所述转动支架（5）沿水平方向转动。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
