[实用新型]一种用于放置石英舟的舟座有效
| 申请号： | 201921114208.0 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN210223973U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 常永喜;汤芳 | 申请（专利权）人： | 苏州浩锐石英科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215231 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于放置石英舟的舟座，包括放置台、支撑架、升降机构和支撑座，所述支撑架内设置有放置台，所述放置台的下方设置有升降机构，所述升降机构设置在支撑座上，所述放置台与支撑架的内侧滑动连接，所述支撑架上设置有折叠块使所述支撑架的上部可以折叠,所述放置台上设置有舟卡槽。本实用新型所提供的一种用于放置石英舟的舟座有益效果为：放置台放置在挡块上，使放置台置于支撑架内，可以石英舟进行有效的保护，防止石英舟损坏。支撑板上设置有折叠块，可以对支撑架进行折叠，使空的舟座占用很少的空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 放置 石英 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
