[实用新型]一种简易式石英舟有效
| 申请号： | 201921113456.3 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN210223972U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 常永喜;汤芳 | 申请（专利权）人： | 苏州浩锐石英科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215231 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种简易式石英舟，包括左槽棒、右槽棒、上侧板和下侧板，所述上侧板与下侧板上设置有槽棒腔，所述左槽棒和右槽棒穿在槽棒腔内并能够槽棒腔内移动，所述左槽棒上设置有左把手，所述右槽棒上设置有右把手，所述左槽棒与右槽棒上均设置有插片槽，所述上侧板与下侧板的下方设置有舟底座，所述舟底座卡合在上侧板与下侧板上。本实用新型所提供的一种简易式石英舟有益效果为：使上侧板、下侧板、左槽棒和右槽棒形成单独的部件方便整个石英舟的运输与操作，同时也能避免运输过程中石英舟的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 简易 石英 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
