[实用新型]一种自动插片的方形石英舟有效
申请号: | 201921113425.8 | 申请日: | 2019-07-16 |
公开(公告)号: | CN210223971U | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 张之怡;汤芳;常永喜 | 申请(专利权)人: | 苏州浩锐石英科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215231 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种自动插片的方形石英舟,包括2个上舟杆、2个下舟杆和固定板,所述固定板的上方设置有2个上舟杆,所述上舟杆的下方相对应的设置有2个下舟杆,所述上舟杆上设置有插片槽,所述插片槽的两侧设置有相机识别齿条,所述相机识别齿条的每一个齿为长方形的,所述相机识别齿条的一侧设置有方向识别槽。本实用新型所提供的一种自动插片的方形石英舟有益效果为:实现了石英舟可以自动化插片,不需要在进行手工插片,提高了插片的工作效率,安全性好,硅片不容易损坏。固定板上设置有弹性杆,增加了石英舟的弹性,同时使石英舟也不容易损坏。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 方形 石英 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州浩锐石英科技有限公司,未经苏州浩锐石英科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201921113425.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种煤矿地质研究用模型箱
- 下一篇:一种废旧油管修复设备的油管输送装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造