[实用新型]一种自动插片的方形石英舟有效

专利信息
申请号: 201921113425.8 申请日: 2019-07-16
公开(公告)号: CN210223971U 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 张之怡;汤芳;常永喜 申请(专利权)人: 苏州浩锐石英科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215231 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种自动插片的方形石英舟,包括2个上舟杆、2个下舟杆和固定板,所述固定板的上方设置有2个上舟杆,所述上舟杆的下方相对应的设置有2个下舟杆,所述上舟杆上设置有插片槽,所述插片槽的两侧设置有相机识别齿条,所述相机识别齿条的每一个齿为长方形的,所述相机识别齿条的一侧设置有方向识别槽。本实用新型所提供的一种自动插片的方形石英舟有益效果为:实现了石英舟可以自动化插片,不需要在进行手工插片,提高了插片的工作效率,安全性好,硅片不容易损坏。固定板上设置有弹性杆,增加了石英舟的弹性,同时使石英舟也不容易损坏。
搜索关键词: 一种 自动 方形 石英
【主权项】:
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