[实用新型]线域频域光学相干层析检测及纵向坐标标定装置

摘要

本实用新型涉及一种线域频域光学相干层析检测及纵向坐标标定装置，线域频域光学相干层析装置包括钨卤素灯光源模块、迈克尔逊干涉仪模块、线光谱仪模块和计算机，钨卤素灯光源模块包括钨卤素灯光源和凸透镜，迈克尔逊干涉仪模块包括第一柱透镜、分光镜和参考镜，线光谱仪模块包括第二柱透镜、反射镜、反射式光栅、第三柱透镜和面阵相机，计算机与面阵相机电性连接；纵向坐标标定装置包括可调狭缝结构和用于驱动可调狭缝结构进行位移的狭缝位移平台，可调狭缝结构设于分光镜与待测样品之间的检测光路上，狭缝宽度可调。该装置可对待测样品进行线域检测，且可对装置的纵向坐标进行准确标定，确定线域频域光学相干层析检测的纵向坐标。