[实用新型]一种晶圆切割夹具

摘要

本实用新型涉及夹具领域，公开了一种晶圆切割夹具，包括底座和固定安装在底座上的两个立柱，两个所述立柱相互远离的一面均开始有螺纹通孔，所述螺纹通孔内均插设有第一插杆，两个所述螺纹通孔相互远离的一端均安装有一个与螺纹通孔形状相匹配的螺杆，两个所述螺杆相互远离的一端均连接有转动杆，两个所述第一插杆相互靠近的一端均固定连接有夹板，两个所述夹板相互靠近的一面均安装有一个橡胶垫，所述橡胶垫相互靠近的一面设有与晶圆形状相匹配的弧形面，可以通过调整橡胶垫的位置将放置在定位槽上的晶圆夹住，橡胶垫相互靠近的一面设有弧形面，可有效与晶圆形状相匹配，固定效果好。