[实用新型]应用于真空室的片架传送机构有效
| 申请号： | 201921034780.6 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN210339183U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 谷义伟;冯斌;李东滨;金浩;王德苗 | 申请（专利权）人： | 浙江大学昆山创新中心 |
| 主分类号： | B65G1/10 | 分类号： | B65G1/10 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 刘妍妍 |
| 地址： | 215347 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型为真空镀膜领域，公开了一种应用于真空室的片架传送机构，包括滑块A、滑块B、传动杆A和传动杆B，所述传动杆A和传动杆B纵向平行放置，并分别穿过滑块A和滑块B，形成井字形；所述滑块A、滑块B、传动杆A和传动杆B位于工作腔体内，所述传动杆A与电机A连接，所述传动杆B与电机B连接。所述滑块A和滑块B上设置有传动杆螺孔和传动杆过度通孔。本实用新型通过控制传动杆A和B的转动，可以自由控制片架的传送速度和传送方向，由于其结构简单，配件少，在降低传动机构成本的同时，可提高传动机构的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 真空 传送 机构 | ||
【主权项】：
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