[实用新型]应用于真空室的片架传送机构

说明书

本实用新型为真空镀膜领域，公开了一种应用于真空室的片架传送机构，包括滑块A、滑块B、传动杆A和传动杆B，所述传动杆A和传动杆B纵向平行放置，并分别穿过滑块A和滑块B，形成井字形；所述滑块A、滑块B、传动杆A和传动杆B位于工作腔体内，所述传动杆A与电机A连接，所述传动杆B与电机B连接。所述滑块A和滑块B上设置有传动杆螺孔和传动杆过度通孔。本实用新型通过控制传动杆A和B的转动，可以自由控制片架的传送速度和传送方向，由于其结构简单，配件少，在降低传动机构成本的同时，可提高传动机构的可靠性。

技术领域

本实用新型为真空镀膜领域，具体涉及真空镀膜设备的片架传送机构。

背景技术

传统的真空镀膜设备的真空室片架传送机构基本上都是导轮带动片架进行传动，其结构复杂，传动可靠性差。如发生静摩擦力不够的情况，则会导致片架行进滞后和跳动，从而影响溅射过程。各个导轮间存在间距，限制了片架的长度；如果导轮间距过小，则需要的导轮个数较多，不利于传动系统稳定、持久地匀速运行。

发明内容

针对上述问题，本实用新型提出了一种应用于真空室片架传送机构，结构简单，配件少，在降低传动机构成本的同时，可提高传动机构的可靠性。

实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种应用于真空室的片架传送机构，包括滑块A(1)、滑块B(2)、传动杆A(3)和传动杆B(4)，所述传动杆A(3)和传动杆B(4)纵向平行放置，并分别穿过滑块A(1)和滑块B(2)，形成井字形；所述滑块A(1)、滑块B(2)、传动杆A(3)和传动杆B(4)位于工作腔体(5)内，所述传动杆A(3)与电机A(6)连接，所述传动杆B(4)与电机B(7)连接。所述滑块A(1)和滑块B(2)上设置有传动杆螺孔(8)和传动杆过度通孔(9)。

进一步的，所述滑块A(1)上的传动杆螺孔(8)供传动杆B(4)通过；所述滑块A(1)上的传动杆过度通孔(9)供传动杆A(3)通过；所述传动杆螺孔(8)内部设置有螺纹内丝，对应的传动杆A(3)在外表面设置有与传动杆螺孔(8)内表面螺纹内丝匹配的螺纹外丝。

进一步的，所述滑块B(2)上的传动杆螺孔(8)供传动杆A(3)通过；所述滑块B(2)上的传动杆过度通孔(9)供传动杆B(4)通过；所述传动杆螺孔(8)内部设置有螺纹内丝，对应的传动杆B(4)在外表面设置有与传动杆螺孔(8)内表面螺纹内丝匹配的螺纹外丝。

进一步的，所述滑块A(1)上的传动杆过度通孔(9)大于滑块A(1)上的传动杆螺孔(8)；所述滑块B(2)上的传动杆过度通孔(9)大于滑块A(1)上的传动杆螺孔(8)。

进一步的，所述滑块A(1)和滑块B(2)上设置有凹槽(10)，所述凹槽(10)可容纳工作承载片架(11)通过。

进一步的，所述滑块A(1)和滑块B(2)的凹槽(10)两侧设置有碰珠导向槽(12)。

进一步的，所述滑块A(1)和滑块B(2)的凹槽(10)两侧每侧设置有3个碰珠导向槽(12)。

进一步的，所述碰珠导向槽(12)内安装有碰珠(13)和弹簧(14)。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提出了一种应用于真空室片架传送机构，通过控制传动杆A和B的转动，可以自由控制片架的传送速度和传送方向，其结构简单，配件少，在降低传动机构成本的同时，可提高传动机构的可靠性。

有益效果：

本实用新型提出了一种应用于真空室片架传送机构，通过控制传动杆A和B的转动，可以自由控制片架的传送速度和传送方向，其结构简单，配件少，在降低传动机构成本的同时，可提高传动机构的可靠性。

附图说明