[实用新型]一种太阳电池硅片表面臭氧处理设备

摘要

本实用新型提供一种太阳电池硅片表面臭氧处理设备，其包括碱液粗抛池，设于碱液粗抛池后的水洗装置，设于清洗水槽后的臭氧水清洗池以及设于臭氧水清洗池后的制绒设备；所述的臭氧清洗池与臭氧发生器相通。本实用新型的硅片表面臭氧处理设备，通过在粗抛池后与臭氧水清洗池之间增加水洗装置，将硅片表面去除残留碱液之后再进入臭氧水清洗工序，可有效防止由于碱液带入导致的臭氧水中臭氧浓度急剧降低的问题，从而可以确保臭氧水浓度稳定，确保臭氧水清洗工序的效果，利于后续的硅片制绒。