[实用新型]一种新型晶圆拾取装置

摘要

本实用新型公开了一种新型晶圆拾取装置，包括丝杆连接件、轴承、丝杆、直线导轨三、直线导轨二、直线导轨一、马达安装座、卡环、轴承座、滚动轴承、Y轴基座、马达、Y向运动件、Z向运动件、轴承固定件、垫片、斜导轨和旋转轴；本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，这里运用斜坡导轨代替Z轴丝杆的向上电梯运动，用机械硬件同步解决软件脉冲信号难的问题，提高了反应速度降低了成本，从而提高了生产的效率；本实用新型中滚动轴承为两个分别与斜导轨上下导轨面相连，从而确保了升降移动的可靠性和稳定性，也就提高了使用的效果。