[实用新型]翻转滑动式腔门结构、等离子真空腔体及等离子处理设备

摘要

本实用新型公开了一种翻转滑动式腔门结构、等离子真空腔体及等离子处理设备，腔门结构包括滑轨、滑动安装在滑轨上的安装架以及转动连接在安装架内部的腔门，腔门两侧均设有料架托盘，腔门中部穿装有竖向旋转轴，竖向旋转轴安装在安装架内部，竖向旋转轴由位于安装架顶部的驱动机构A驱动，腔门在驱动机构A的作用下绕着竖向旋转轴在安装架内部旋转，安装架由位于其外部的驱动机构B驱动滑动；等离子真空腔体及等离子处理设备都采用了所述翻转滑动式腔门结构。本实用新型通过设置旋转真空腔门即可调换其两侧料架托盘的位置，进而实现快速更换进出材料的目的。