[实用新型]反应离子刻蚀机及其冷却装置有效
| 申请号： | 201920971940.3 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN209880535U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 陈燕铃 | 申请（专利权）人： | 华智科技(国际)有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/305 | 分类号： | H01J37/305;H01J37/30 |
| 代理公司： | 44281 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胥强;郭燕 |
| 地址： | 中国香港新界沙田火炭坳背*** | 国省代码： | 中国香港;HK |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种冷却装置及反应离子刻蚀机，该冷却装置的冷却盘和冷却板围成一个冷却腔，进液口和排液口设置在冷却腔的底壁，其中，在冷却腔的底壁还具有凸起设置的阻流件和凸起设置的至少一圈储水槽。该阻流件位于进液口和排液口之间，用以阻碍冷却液(如冷却水)直接从进液口流向排液口，而储水槽将进液口和排液口包围。在阻流件的作用下，迫使冷却液进入储水槽及其周围区域流动，让冷却液尽量流经冷却腔的整个区域，而不是直接从进液口流向排液口，可让流入的冷却液均匀地与冷却板接触，进行热交换。本冷却装置可均匀地推动冷却液流动，以加长保水期，并减少对流对散热的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 进液口 排液口 冷却腔 冷却液 冷却装置 储水槽 阻流件 凸起设置 冷却板 底壁 热交换 反应离子刻蚀机 冷却液流动 整个区域 周围区域 冷却盘 冷却水 散热 保水 加长 对流 包围 阻碍 流动 | ||
【主权项】：
1.一种反应离子刻蚀机的冷却装置,其特征在于，包括：/n冷却盘，所述冷却盘具有凹陷部、进液口和排液口，所述进液口和排液口设置在所述凹陷部的底壁，用于使冷却液进入凹陷部和从凹陷部排出；所述凹陷部的底壁具有凸起设置的阻流件和凸起设置的至少一圈储水槽；所述阻流件位于进液口和排液口之间，用以阻碍冷却液直接从进液口流向排液口；所述储水槽将所述进液口和排液口包围；/n冷却板，所述冷却板密封覆盖在所述凹陷部上，并与所述凹陷部围成用以容置冷却液的冷却腔，使位于所述冷却液能够对冷却板进行冷却；所述阻流件的顶端抵接或贯穿所述冷却板；所述储水槽的顶端与冷却板具有间隙，以便冷却液经所述间隙进入储水槽内；/n以及托盘，用于承托加工对象，所述托盘安装在冷却板上，以便将热量传递至所述冷却板。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华智科技(国际)有限公司，未经华智科技(国际)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920971940.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：X射线管以及用于X射线管的陶瓷元件
- 下一篇：反应离子刻蚀机及其气体分配装置
