[实用新型]一种自清洁式磁控溅射靶材冷却系统有效
| 申请号： | 201920939463.2 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN210215525U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 朱杰 | 申请（专利权）人： | 张家港市和瑞创先智能光学有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;F25C5/04;F28G1/12 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 李猛 |
| 地址： | 215623 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，包括：水泵、混水管道、碎冰机、靶材和冷却塔，所述靶材中设置有冷却水腔体，所述靶材一端设置有与冷却水腔体连通的第一管接头，所述靶材另一端设置有与冷却水腔体连通的第二管接头，所述第一管接头与冷却塔的出水口之间设置有供水管，所述第二管接头与冷却塔的进水口之间设置有回水管，所述混水管道串联在供水管上，所述碎冰机设置在混水管道上方，所述碎冰机的底部设置有与混水管道垂直连通的落料管。通过上述方式，本实用新型所述的自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，通过冰粒随冷却水依次进入供水管、冷却水腔体和回水管，对其内壁进行冲刷，清理掉污垢，提升了对靶材的冷却效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洁 磁控溅射 冷却系统 | ||
【主权项】：
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