[实用新型]多晶硅还原炉尾气处理装置有效
| 申请号: | 201920938198.6 | 申请日: | 2019-06-20 |
| 公开(公告)号: | CN210125300U | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
| 发明(设计)人: | 曾磊;杨涛;郜峰;许红方;张乃文 | 申请(专利权)人: | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 主分类号: | B01D53/86 | 分类号: | B01D53/86;B01D53/46;C01B33/18;B03C3/08;B03C3/76 |
| 代理公司: | 北京中北知识产权代理有限公司 11253 | 代理人: | 段秋玲 |
| 地址: | 257300 山东省东营市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了多晶硅还原炉尾气处理装置,涉及多晶硅加工技术领域。本实用新型包括:加热还原炉尾气进行催化反应的高温催化箱(1)和静电吸附回收二氧化硅的吸附箱(2);高温催化箱(1)包括加热还原炉尾气的加热棒(104),分散还原炉尾气的气流分散板(106)和用于催化反应的催化床(107);吸附箱(2)包括产生振动作用的电磁振动器(203),电晕极(201)的电势高于集电极(202)的电势。本实用新型有益技术效果:气流分散板的作用是将气流进行均匀分散,保证尾气与催化床上的催化剂充分接触并反应;对多晶硅还原炉尾气先进行高温催化生成二氧化硅,再利用静电吸附回收二氧化硅,妥善处理多晶硅还原炉尾气。 | ||
| 搜索关键词: | 多晶 还原 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】:
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