[实用新型]多晶硅还原炉尾气处理装置

权利要求书

1.多晶硅还原炉尾气处理装置，其特征在于，

包括：加热还原炉尾气进行催化反应的高温催化箱(1)和静电吸附回收二氧化硅的吸附箱(2)；

高温催化箱(1)包括：加热还原炉尾气的加热棒(104)，分散还原炉尾气的气流分散板(106)和用于催化反应的催化床(107)；气流分散板(106)位于加热棒(104)和催化床(107)之间；

吸附箱(2)包括：电晕极(201)、集电极(202)和产生振动作用的电磁振动器(203)；电晕极(201)的电势高于集电极(202)的电势。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉尾气处理装置，其特征在于，加热棒(104)靠近高温催化箱(1)的第一入口(101)，催化床(107)靠近高温催化箱(1)的第一出口(102)；

气流分散板(106)上有用于引导尾气流动的格栅(113)；催化床(107)上用于放置催化剂的隔板(114)；加热棒(104)通过绝缘连接块(105)安装在高温催化箱(1)上；在高温催化箱(1)的外侧设置隔热层(103)。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅还原炉尾气处理装置，其特征在于，高温催化箱(1)中有多个加热棒(104)，相对的加热棒(104)是交错式布置。

4.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉尾气处理装置，其特征在于，高温催化箱(1)中有四个加热棒(104)，分别为第一加热棒(108)、第二加热棒(109)、第三加热棒(110)和第四加热棒(111)，第一加热棒(108)和第三加热棒(110)在同一侧，第二加热棒(109)和第四加热棒(111)在同一侧，第一加热棒(108)和第三加热棒(110)的前端与第二加热棒(109)和第四加热棒(111)的前端呈现出交错布置。

5.根据权利要求1或2或4所述的多晶硅还原炉尾气处理装置，其特征在于，电晕极(201)通过绝缘环(207)安装在吸附箱(2)的中间，集电极(202)安装在吸附箱(2)的内侧，电磁振动器(203)安装在吸附箱(2)的外侧；

吸附箱(2)的下方通过灰斗(204)连接集尘箱(206)，在灰斗(204)下方设置插板阀(205)；

吸附箱(2)的第二入口(208)连通高温催化箱(1)的第一出口(102)，吸附箱(2)的第二出口(209)通向大气。

6.根据权利要求5所述的多晶硅还原炉尾气处理装置，其特征在于，集电极(202)和电磁振动器(203)的安装高度相同。