[实用新型]多晶硅还原炉尾气处理装置

说明书

本实用新型公开了多晶硅还原炉尾气处理装置，涉及多晶硅加工技术领域。本实用新型包括：加热还原炉尾气进行催化反应的高温催化箱(1)和静电吸附回收二氧化硅的吸附箱(2)；高温催化箱(1)包括加热还原炉尾气的加热棒(104)，分散还原炉尾气的气流分散板(106)和用于催化反应的催化床(107)；吸附箱(2)包括产生振动作用的电磁振动器(203)，电晕极(201)的电势高于集电极(202)的电势。本实用新型有益技术效果：气流分散板的作用是将气流进行均匀分散，保证尾气与催化床上的催化剂充分接触并反应；对多晶硅还原炉尾气先进行高温催化生成二氧化硅，再利用静电吸附回收二氧化硅，妥善处理多晶硅还原炉尾气。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅加工技术领域，特别涉及多晶硅还原炉尾气处理装置。

背景技术

硅片是电子产品制造中重要的原材料,由硅锭加工制成，硅锭由多晶硅料铸造而成。而多晶硅生产中，在还原三氯氢硅时会产生大量的尾气，尾气主要是四氯化硅、三氯氢硅及二氯二氢硅等多种氯硅烷气体，这些尾气需要处理达标后才能排放，对于尾气中的含硅物质，处理方式得当，可以生成二氧化硅，二氧化硅能够进行回收再利用。

发明内容

本实用新型提供多晶硅还原炉尾气处理装置，对尾气先进行高温催化生成二氧化硅，再进行吸附回收，对多晶硅还原炉尾气进行妥善处理。

具体技术方案是多晶硅还原炉尾气处理装置，包括：加热还原炉尾气进行催化反应的高温催化箱和静电吸附回收二氧化硅的吸附箱；

高温催化箱包括：加热还原炉尾气的加热棒，分散还原炉尾气的气流分散板和用于催化反应的催化床；

气流分散板的作用是将气流进行均匀分散，保证尾气与催化床上的催化剂充分接触，尾气参与反应充分。

吸附箱包括：电晕极、集电极和产生振动作用的电磁振动器；电晕极的电势高于集电极的电势；

尾气气流靠近电晕极发生电离，部分二氧化硅会静电吸附到集电极上。

进一步，高温催化箱前端设第一入口，后端设第一出口，加热棒靠近高温催化箱的第一入口，催化床靠近高温催化箱的第一出口，气流分散板位于加热棒和催化床之间；

气流分散板上有用于引导尾气流动的格栅；催化床上用于放置催化剂的隔板；加热棒通过绝缘连接块安装在高温催化箱上；在高温催化箱的外侧设置隔热层。

尾气进入到高温催化箱，先由加热棒进行加热升温，再由气流分散板均匀分散与催化床上的催化剂接触。隔热层能够减少高温催化箱内部热量的散失。

进一步，高温催化箱中有多个加热棒，相对的加热棒是交错式布置。交错式分布，高温催化箱内部的加热及散热效果好。

进一步，高温催化箱中有四个加热棒，分别为第一加热棒、第二加热棒、第三加热棒和第四加热棒，第一加热棒和第三加热棒在同一侧，第二加热棒和第四加热棒在同一侧，第一加热棒和第三加热棒的前端与第二加热棒和第四加热棒的前端呈现出交错布置。

进一步，电晕极通过绝缘环安装在吸附箱的中间，集电极安装在吸附箱的内侧，电磁振动器安装在吸附箱的外侧；集电极紧贴在吸附箱内壁上。

吸附箱的下方通过灰斗连接集尘箱，在灰斗下方设置插板阀；

吸附箱的第二入口连通高温催化箱的第一出口，吸附箱的第二出口通向大气。

进一步，集电极和电磁振动器的安装高度相同。电磁振动器的振打动作恰好作用于集电极上，利于二氧化硅的收集。