[实用新型]真空沉积炉抽真空冷却装置

摘要

本实用新型提供了冷却效果好的真空沉积炉的抽真空冷却装置。包括连接在沉积炉出气口的出气管一、一级冷却塔、二级冷却塔、真空泵以及出气管二，所述一级冷却塔有两个，所述二级冷却塔有两个，所述真空泵有三个，两个所述一级冷却塔通过支管一与出气管一连通，两个所述二级冷却塔分别连接在两个一级冷却塔后，三个所述真空泵通过支管二连接在同一出气管二上。本实用新型中，真空泵将沉积炉中的热气从出气管一中抽出，依次经过以及冷却塔和二级冷却塔的冷却，排出。在出气管一中设螺旋冷却管，在冷却管中不间断加入冷却液，对进入出气管一中的热气进行预冷，从而增加整个抽真空冷却装置的冷却效果。