[实用新型]真空沉积炉抽真空冷却装置

说明书

本实用新型提供了冷却效果好的真空沉积炉的抽真空冷却装置。包括连接在沉积炉出气口的出气管一、一级冷却塔、二级冷却塔、真空泵以及出气管二，所述一级冷却塔有两个，所述二级冷却塔有两个，所述真空泵有三个，两个所述一级冷却塔通过支管一与出气管一连通，两个所述二级冷却塔分别连接在两个一级冷却塔后，三个所述真空泵通过支管二连接在同一出气管二上。本实用新型中，真空泵将沉积炉中的热气从出气管一中抽出，依次经过以及冷却塔和二级冷却塔的冷却，排出。在出气管一中设螺旋冷却管，在冷却管中不间断加入冷却液，对进入出气管一中的热气进行预冷，从而增加整个抽真空冷却装置的冷却效果。

技术领域

本实用新型涉及真空沉积炉技术领域，尤其涉及一种真空沉积炉抽真空冷却装置的改进。

背景技术

真空沉积炉内温度上升至设定高温时开始保温并通气进行化学反应，在反应过程中需一直保持真空状态，现有技术中通过真空泵持续不断地将沉积炉中的气体抽出使其保持真空状态，但沉积炉内的反应温度很高，抽出来的气体温度也很高，需要进行冷却后才可排放。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了冷却效果好的抽真空冷却装置。

本实用新型采用如下技术方案实现：真空沉积炉抽真空冷却装置，包括连接在沉积炉出气口的出气管一、一级冷却塔、二级冷却塔、真空泵以及出气管二，所述一级冷却塔有两个，所述二级冷却塔有两个，所述真空泵有三个，两个所述一级冷却塔通过支管一与出气管一连通，两个所述二级冷却塔分别连接在两个一级冷却塔后，三个所述真空泵通过支管二连接在同一出气管二上。

所述出气管一中设有一根螺旋冷却管，所述螺旋冷却管的进液端设在出气管一的进气端并伸出出气管一、出液端设在出气管一的出气端并伸出出气管一，所述螺旋冷却管的主体与出气管一同轴。

所述螺旋冷却管与出气管一的连接处设有耐高温密封圈。

所述螺旋冷却管相邻的两个螺旋直径不相等、间隔的两个螺旋的直径相等，其中小螺旋的外径小于大螺旋的内径。

相比现有技术，本实用新型中，真空泵将沉积炉中的热气从出气管一中抽出，依次经过以及冷却塔和二级冷却塔的冷却，排出。在出气管一中设螺旋冷却管，在冷却管中不间断加入冷却液，对进入出气管一中的热气进行预冷，从而增加整个抽真空冷却装置的冷却效果。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1的俯视图；

图3是本实用新型中螺旋冷却管的结构示意图的第一种实施方式；

图4是本实用新型中螺旋冷却管的结构示意图的第二种实施方式；

图中：1、出气管一；2、一级冷却塔；3、二级冷却塔；4、真空泵；5、出气管二；6、支管一；7、支管二；8、螺旋冷却管。

具体实施方式

下面结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。

如图1-2所示，真空沉积炉抽真空冷却装置，包括连接在沉积炉出气口的出气管一1、一级冷却塔2、二级冷却塔3、真空泵4以及出气管二5，所述一级冷却塔2有两个，所述二级冷却塔3有两个，所述真空泵4有三个，两个所述一级冷却塔2通过支管一6与出气管一1连通，两个所述二级冷却塔3分别连接在两个一级冷却塔2后，三个所述真空泵4通过支管二7连接在同一出气管二5上。本实用新型中，启动真空泵4，将沉积炉中的热气从出气管一1中抽出，依次经过一级冷却塔2和二级冷却塔3的冷却，排出。一级冷却塔2和二级冷却塔3分别有两个，使气体分流，降低每个冷却塔的处理量，提升处理效果。