[实用新型]一种超高真空旋转馈入装置

摘要

本实用新型提供了一种超高真空旋转馈入装置，用于解决现有技术中旋转馈入装置有效通径小、承重能力差、密封圈容易损坏、密封性差的技术问题，包括：电机、电机支架、联轴器、固定架、交叉滚子轴承、蜗杆、蜗轮、上法兰和下法兰；固定架包括轴承外圈盖板、蜗杆支架和蜗杆固定件；上法兰包括内圈固定端和延长端，下法兰包括外圈固定端和密封端；实施本实用新型的技术方案，使用蜗杆和蜗轮作为主传动机构，装置结构简单；密封圈设置在下法兰内侧，避免直接承受压力，可延长密封圈的寿命；设置交叉滚子轴承，降低装置工作过程中产生的晃动，提高装置的控制精度；设置多条密封圈并设置差分抽气法兰，装置可适用超高真空腔体。