[实用新型]一种可用于检测多种晶圆的中测台有效
| 申请号： | 201920868117.X | 申请日： | 2019-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN210376579U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 薛昌和 | 申请（专利权）人： | 江阴佳泰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/02;G01R1/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可用于检测多种晶圆的中测台，属于晶圆检测的技术领域，旨在提供一种可检测同种晶圆的中测台，其技术方案要点是包括中测台本体，所述中测台本体上设有放置槽，所述放置槽内设有两个相互平行设置的台阶式探针固定台，两个台阶式探针固定台的台阶面相向设置，所述台阶式探针固定台上设有若干台阶固定面，所述台阶固定面上设有压紧组件。通过台阶式探针固定台的设置，能够起到固定不同尺寸的探针卡，从而使得中测台可以检测更多种类的晶圆的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 多种 中测台 | ||
【主权项】：
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