[实用新型]一种可用于检测多种晶圆的中测台

权利要求书

1.一种可用于检测多种晶圆的中测台，包括中测台本体（1），所述中测台本体（1）上设有放置槽（11），其特征在于：所述放置槽（11）内设有两个相互平行设置的台阶式探针固定台（2），两个台阶式探针固定台（2）的台阶面相向设置，所述台阶式探针固定台（2）上设有若干台阶固定面（21），所述台阶固定面（21）上设有压紧组件（3）。

2.根据权利要求1所述的一种可用于检测多种晶圆的中测台，其特征在于：所述压紧组件（3）包括装配在台阶固定面（21）内的固定筒（31），所述固定筒（31）竖直设置，所述固定筒（31）顶端开设有通孔，通孔内滑动穿设有插销（32），所述插销（32）位于固定筒（31）内一端设有限位板（33），所述固定筒（31）内设有与限位板（33）抵触的压簧（34），所述压簧（34）套设有在插销（32）上，所述插销（32）伸出固定筒（31）一端设有水平设置的压板（35）。

3.根据权利要求2所述的一种可用于检测多种晶圆的中测台，其特征在于：所述台阶固定面（21）对应于固定筒（31）的位置设有内螺纹孔（22），所述固定筒（31）上设有外螺纹，所述固定筒（31）螺接在内螺纹孔（22）内。

4.根据权利要求1所述的一种可用于检测多种晶圆的中测台，其特征在于：所述中测台本体（1）内设有驱动台阶式探针固定台（2）升降的升降驱动机构（4）。

5.根据权利要求4所述的一种可用于检测多种晶圆的中测台，其特征在于：所述升降驱动机构（4）包括升降组件（41），所述升降组件（41）竖直设置的升降丝杠（411），所述升降丝杠（411）转动设置在中测台本体（1）内，所述升降丝杠（411）与台阶式探针固定台（2）螺纹连接，所述升降丝杠（411）两侧设有竖直设置的导杆（412），所述导杆（412）用于台阶式探针固定台（2）滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种可用于检测多种晶圆的中测台，其特征在于：两根所述升降丝杠（411）之间设有联动轴（42），所述联动轴（42）两端与升降丝杠（411）之间设有传动组件（43）。

7.根据权利要求6所述的一种可用于检测多种晶圆的中测台，其特征在于：所述升降驱动机构（4）还包括驱动组件（44），所述驱动组件（44）包括设置在联动轴（42）上的蜗轮（441）、与蜗轮（441）啮合的蜗杆（442）、用于驱动蜗杆（442）转动的驱动件（443）。

8.根据权利要求7所述的一种可用于检测多种晶圆的中测台，其特征在于：所述驱动件（443）为手轮或伺服电机。