[实用新型]一种可用于检测多种晶圆的中测台

说明书

本实用新型公开了一种可用于检测多种晶圆的中测台，属于晶圆检测的技术领域，旨在提供一种可检测同种晶圆的中测台，其技术方案要点是包括中测台本体，所述中测台本体上设有放置槽，所述放置槽内设有两个相互平行设置的台阶式探针固定台，两个台阶式探针固定台的台阶面相向设置，所述台阶式探针固定台上设有若干台阶固定面，所述台阶固定面上设有压紧组件。通过台阶式探针固定台的设置，能够起到固定不同尺寸的探针卡，从而使得中测台可以检测更多种类的晶圆的效果。

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测的技术领域，特别涉及一种可用于检测多种晶圆的中测台。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。

半导体可靠性测试（晶圆级可靠性测试）通常在高达350℃的环境温度下通过晶圆探针器进行，目前多使用探针台进行测试。对于半导体晶圆的电气测试，探针卡上的一组探针通常被保持在适当位置，同时使（安装在卡盘上的）半导体晶圆上的晶粒与探针电气接触。

对于不同的晶圆，需要采用不同的探针卡对晶圆进行检测，目前，探针台上的放置槽内两块卡板的距离一般是固定设置的，当探针卡放在卡板上时，如果探针卡较小，卡板就无法撑住探针卡；如果探针卡较大，探针卡上的电气元件就会直接压在卡板上，这样不仅可能会对电气元件造成损伤，而且探针卡在卡板上也不稳定。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可用于检测多种晶圆的中测台，具有可检测多种晶圆的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种可用于检测多种晶圆的中测台，包括中测台本体，所述中测台本体上设有放置槽，所述放置槽内设有两个相互平行设置的台阶式探针固定台，两个台阶式探针固定台的台阶面相向设置，所述台阶式探针固定台上设有若干台阶固定面，所述台阶固定面上设有压紧组件。

通过采用上述技术方案，将不同规格的探针台放置于台阶式探针固定台不同的台阶固定面上，然后再通过压紧组件进行压紧。这样中测台上就可安装不同规格的探针卡，检测晶圆的种类也就更加丰富。

进一步的，所述压紧组件包括装配在台阶固定面内的固定筒，所述固定筒竖直设置，所述固定筒顶端开设有通孔，通孔内滑动穿设有插销，所述插销位于固定筒内一端设有限位板，所述固定筒内设有与限位板抵触的压簧，所述压簧套设有在插销上，所述插销伸出固定筒一端设有水平设置的压板。

通过采用上述技术方案，探针卡放置于台阶固定面上，压簧对限位板施加向下的压力，限位板带动插销向下移动，插销带动压板向下移动从而压紧探针卡。

进一步的，所述台阶固定面对应于固定筒的位置设有内螺纹孔，所述固定筒上设有外螺纹，所述固定筒螺接在内螺纹孔内。

通过采用上述技术方案，采用装配式压紧组件，不仅便于生产，而且提高了压紧组件的装配效率。

进一步的，所述中测台本体内设有驱动台阶式探针固定台升降的升降驱动机构。

通过采用上述技术方案，当需要更换不同的探针卡时，升降驱动机构驱动台阶式探针固定台升降，以便于将探针卡安装在与其相适配的台阶固定面上。

进一步的，所述升降驱动机构包括升降组件，所述升降组件竖直设置的升降丝杠，所述升降丝杠转动设置在中测台本体内，所述升降丝杠与台阶式探针固定台螺纹连接，所述升降丝杠两侧设有竖直设置的导杆，所述导杆用于台阶式探针固定台滑动连接。

通过采用上述技术方案，只需驱动升降丝杠转动，台阶式探针固定台在升降丝杠的驱动下升降，两根导杆对台阶式探针固定台进行导向，并限制台阶式探针固定台周向旋转，从实现驱动台阶式探针固定台升降。