[实用新型]一种五磁道磁钢组件及磁控溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201920849167.3 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN210481502U | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 朱世元;闫乃明 | 申请（专利权）人： | 深圳市金耀玻璃机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳力拓知识产权代理有限公司 44313 | 代理人： | 龚健 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种五磁道磁钢组件及磁控溅射镀膜设备，属于镀膜设备领域。该磁钢组件包括磁轭和固定管，所述的磁轭和固定管之间连接有用于调节磁轭与固定管间距的调节组件，所述的磁轭上依次设有第一磁铁、第二磁铁、第三磁铁、第四磁铁和第五磁铁，所述的第一磁铁、第三磁铁与第五磁铁的同一侧磁极相同，所述的第二磁铁与第四磁铁的同一侧磁极相同，所述的第三磁铁与第二磁铁的同一侧磁极相反。本实用新型将上述磁钢组件应用在磁控溅射镀膜设备中，可以在真空磁控溅射过程中，使靶材所产生的等离子体区间变宽，以及使靶材所产生的等离子体的动能变强，从而可以使等离子体的沉积速率加快，满足高沉积效率的要求，以达到提高镀膜效率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁道 磁钢 组件 磁控溅射 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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