[实用新型]一种五磁道磁钢组件及磁控溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201920849167.3 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN210481502U | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 朱世元;闫乃明 | 申请（专利权）人： | 深圳市金耀玻璃机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳力拓知识产权代理有限公司 44313 | 代理人： | 龚健 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁道 磁钢 组件 磁控溅射 镀膜 设备 | ||
1.一种五磁道磁钢组件，包括磁轭(1)和固定管(2)，所述的磁轭(1)和固定管(2)之间连接有用于调节磁轭(1)与固定管(2)间距的调节组件，其特征在于，所述的磁轭(1)上依次设有第一磁铁(3)、第二磁铁(4)、第三磁铁(5)、第四磁铁(6)和第五磁铁(7)，所述的第一磁铁(3)、第三磁铁(5)与第五磁铁(7)的同一侧磁极相同，所述的第二磁铁(4)与第四磁铁(6)的同一侧磁极相同，所述的第三磁铁(5)与第二磁铁(4)的同一侧磁极相反。
2.根据权利要求1所述的一种五磁道磁钢组件，其特征在于，所述的调节组件包括若干组调节螺钉(8)，所述的磁轭(1)上设有若干组与调节螺钉(8)相匹配的螺纹孔(10)，所述的调节螺钉(8)穿过固定管(2)与螺纹孔(10)进行螺纹连接；所述的调节螺钉(8)上还螺纹连接有锁紧螺母(9)。
3.根据权利要求1所述的一种五磁道磁钢组件，其特征在于，所述的第一磁铁(3)、第二磁铁(4)、第三磁铁(5)、第四磁铁(6)和第五磁铁(7)均为条形结构。
4.根据权利要求3所述的一种五磁道磁钢组件，其特征在于，所述的第一磁铁(3)、第二磁铁(4)、第三磁铁(5)、第四磁铁(6)和第五磁铁(7)外均包裹有具有防腐功能的导磁体(11)。
5.根据权利要求4所述的一种五磁道磁钢组件，其特征在于，所述的导磁体(11)为不锈钢材质。
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