[实用新型]真空镀膜机用的罗茨泵

摘要

本实用新型涉及一种真空镀膜机用的罗茨泵，包括泵体，所述泵体上转动连接有第一转轴，所述第一转轴上固定有转子，所述泵体上设置有支撑架，所述支撑架上设置有电机，所述电机的转轴与第一转轴之间设置有联动两者同向转动的磁粉离合器，所述支撑架上设置有调节对磁粉离合器的激磁电流以调节第一转轴转速的控制器，所述控制器与磁粉离合器电连接，所述泵体上内嵌有检测泵体内部温度的温度检测模块，所述温度检测模块与控制器电连接。本实用新型具有可与机械泵同时启动对真空镀膜机进行抽气，从而缩短对真空镀膜机抽气时间的效果。

主权项

1.一种真空镀膜机用的罗茨泵，包括泵体（1），所述泵体（1）上转动连接有第一转轴（2），所述第一转轴（2）上固定有转子（3），其特征在于：所述泵体（1）上设置有支撑架（4），所述支撑架（4）上设置有电机（8），所述电机（8）的转轴与第一转轴（2）之间设置有联动两者同向转动的磁粉离合器（5），所述支撑架（4）上设置有调节对磁粉离合器（5）的激磁电流以调节第一转轴（2）转速的控制器（9），所述控制器（9）与磁粉离合器（5）电连接，所述泵体（1）上内嵌有检测泵体（1）内部温度的温度检测模块（10），所述温度检测模块（10）与控制器（9）电连接。/n