[实用新型]真空镀膜机用的罗茨泵

权利要求书

1.一种真空镀膜机用的罗茨泵，包括泵体（1），所述泵体（1）上转动连接有第一转轴（2），所述第一转轴（2）上固定有转子（3），其特征在于：所述泵体（1）上设置有支撑架（4），所述支撑架（4）上设置有电机（8），所述电机（8）的转轴与第一转轴（2）之间设置有联动两者同向转动的磁粉离合器（5），所述支撑架（4）上设置有调节对磁粉离合器（5）的激磁电流以调节第一转轴（2）转速的控制器（9），所述控制器（9）与磁粉离合器（5）电连接，所述泵体（1）上内嵌有检测泵体（1）内部温度的温度检测模块（10），所述温度检测模块（10）与控制器（9）电连接。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机用的罗茨泵，其特征在于：所述第一转轴（2）上固定套设有第一齿轮（11），所述泵体（1）上转动连接有第二转轴（12），所述第二转轴（12）上固定有转子（3），所述第二转轴（12）上套设固定有第二齿轮（13），所述第一齿轮（11）与第二齿轮（13）啮合，所述泵体（1）上设置有遮住第一齿轮（11）和第二齿轮（13）的挡盒（14），所述挡盒（14）顶部设有开口，所述挡盒（14）顶部水平滑动连接有挡住开口的滑板（15），所述挡盒（14）顶部底面固定有用于对第一齿轮（11）滴加润滑油的出油盒（16），所述出油盒（16）底端设置有供润滑油流出的出油口（17），所述滑板（15）上设置有联动出油口（17）启闭的第一联动组件。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜机用的罗茨泵，其特征在于：所述第一联动组件包括连接块（18），所述连接块（18）固定于滑板（15）底部，所述出油盒（16）底部滑动连接有用于挡住出油口（17）的滑片（19），所述滑片（19）一端固定在连接块（18）上。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜机用的罗茨泵，其特征在于：所述出油盒（16）底部设置有使滑片（19）复位至挡住出油口（17）的弹簧（21）。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜机用的罗茨泵，其特征在于：所述挡盒（14）底部设置有排油口，所述挡盒（14）底部内壁上滑动连接有将挡盒（14）底部内壁上的润滑油刮至排油口处的刮板，所述连接块（18）上设置有联动刮板滑动的第二联动组件。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜机用的罗茨泵，其特征在于：所述第二联动组件包括横杆和竖杆（30），所述横杆固定在连接块（18）上，所述竖杆（30）一端固定在横杆上，另一端固定在刮板上。

7.根据权利要求5所述的真空镀膜机用的罗茨泵，其特征在于：所述挡盒（14）底部滑动连接有用于收集从排油口流出的润滑油的接油盒（33）。

8.根据权利要求3所述的真空镀膜机用的罗茨泵，其特征在于：所述出油口（17）位于第一齿轮（11）与第二齿轮（13）啮合处的正上方。

9.根据权利要求2所述的真空镀膜机用的罗茨泵，其特征在于：所述挡盒（14）上设置有穿透挡盒（14）顶部和出油盒（16）顶部的加油口（22），所述挡盒（14）顶部设置有盖住加油口（22）的封板（23），所述封板（23）上设置有将封板（23）固定住的固定件。