[实用新型]左右对称式CVD系统

摘要

本实用新型涉及一种左右对称式CVD系统，左放样腔体的右端部与连接管的左端部固定相连，连接管的右端部与右放样腔体的左端部固定相连，在连接管的外部设有左加热炉与右加热炉，在左放样腔体的左侧设有左滑块与左驱动器，左滑块由左驱动器驱动，在左滑块上固定有左送样杆，左送样杆伸入左放样腔体与连接管内，在右放样腔体右侧设有右滑块与右加热炉，右滑块由右加热炉驱动，在右滑块上固定有右送样杆，右送样杆伸入右放样腔体与连接管内。本实用新型具有结构简单、自动化程度高、工作效率高等优点；本实用新型实现了灵活进样。