[实用新型]一种精简工艺的微镜芯片有效
| 申请号： | 201920787734.7 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN210366974U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 陈巧 | 申请（专利权）人： | 苏州知芯传感技术有限公司 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 田凌涛 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种精简工艺的微镜芯片，采用SOI硅片，驱动器布置于第三层，质量块与转轴布置在第一层，第二层布置支持结构，其中驱动器采用面内驱动器结构，可以实现面内驱动，通过中层支撑结构产生面外驱动转矩，带动质量块运动，可以实现快速扫描和大角度扫描驱动结构；该结构工艺上利于实现，不挑战工艺难点，可以大大简化面外运动加工难度，实现大角度，大质量块驱动；相对于多层机构的MEMS省去了多次键合的工艺，简化了制造工艺，大大降低加工成本和加工难度，提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精简 工艺 芯片 | ||
【主权项】：
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